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2023-06-13 发布于四川
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一种低成本ZnO透明导电薄膜的制备方法.pdf

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本发明提供了一种低成本ZnO透明导电薄膜的制备方法，分别以醋酸锌、氟化銨、硝酸铝和氯化镓为锌源、氟源、铝源、镓源和氯源，以水或无水乙醇和水溶液作为溶剂，配置成一定浓度的溶液，用蠕动泵按一定的流量将溶液推进到超声雾化发生器；用高压空气或者高压氮气作为高压载气，把经雾化发生器雾化的上述混合溶液输送至加热的衬底上，衬底为玻璃、蓝宝石或石英，衬底温度为350‑550℃，本发明在非真空条件下，以易溶于水或者醇类等的盐类为原材料，利用低成本的超声喷雾技术制备具有导电能力强、紫外‑可见‑近红外区域透过高、成本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113066900 B (45)授权公告日 2022.03.18 (21)申请号 202110311225.9 B05B 17/06 (2006.01) (22)申请日

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