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本发明提供了一种适用于ICP‑OES的CrSi合金制样方法,所述CrSi合金制样方法包括如下步骤:混合CrSi合金靶材与混合酸,再加热至90‑100℃保温,加热与保温的总时间为40‑60min,得到样品溶液;所述混合酸为体积比(1‑3):(1‑3)组成的盐酸与氢氟酸,所述盐酸的浓度为36‑38wt%,所述氢氟酸的浓度为35‑38wt%。本发明提供的CrSi合金制样方法能够在40‑60min内完全溶解CrSi合金靶材,溶解效率高,且填补了CrSi合金靶材进行ICP‑OES测试时的制样空白。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113063642 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110315789.X
(22)申请日 2021.03.24
(71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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