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本发明公开了一种热控调焦机构的稳定性检测方法，它是将安装于调焦环上的次镜作为第一反射镜，或用平面镜代替次镜安装在调焦环上作为第一反射镜，并在第一反射镜的入射光方向同光轴依次设置标准镜和干涉仪，使干涉仪发出的平行单色光经标准镜反射形成参考光，经第一反射镜反射后与所述参考光干涉，形成干涉条纹；通过调节第一反射镜，使所述干涉条纹最少或者消失；然后多次反复通过温控设备加温降温，通过将初始状态、每次降温后、每次加温后干涉条纹状况进行对比，从而确定出调焦过程中调焦环的变形量的稳定性。本发明可以检测出调焦过程
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113074911 B
(45)授权公告日 2022.06.07
(21)申请号 202110304349.4 (51)Int.Cl.
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