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本发明公开一种金属导电薄膜及其制备方法、薄膜晶体管以及显示装置，所述金属导电薄膜包括金属层和氮化物层，所述金属层的材质为第一金属；所述氮化物层叠设于所述金属层的一侧，所述氮化物层的材质为所述第一金属的氮化物。本发明提供的金属导电薄膜，通过在金属层的一侧设置附着性佳的氮化物层，改善了金属导电薄膜的附着性；同时，氮化物层的材质为第一金属的氮化物，这种氮化物能够通过在氮气环境下镀膜得到，相较传统的合金或者多层金属结构的制备工艺，氮化物层的制备能够一次成膜得到，步骤少，效率高；此外，氮化物层只需一种蚀刻
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113066859 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110232247.6 H01L 29/49 (2006.01)
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