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本发明公开了一种基于自组装金纳米薄膜的湿度传感器及其制备方法，步骤：通过低空溅射法制备自组装金纳米薄膜；湿度传感器的多层膜耦合结构的制备；实现自组装金纳米薄膜湿度传感器的光路的构建。本发明的的光学芯片是直角棱镜/金纳米薄膜/待测样品的多层结构模型。该光学芯片构成的湿度传感器实现了对湿度的实时监测，由于金纳米薄膜优异的光学特性，大大提高了湿度传感器灵敏度和响应速度，也突破了其他湿度传感器的限制，可用于检测、识别说话信号。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113063738 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110233161.5
(22)申请日 2021.03.03
(71)申请人 山东理工大学
地址
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