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本发明提供一种基于结构超材料的微流道应力传感器及其制备方法，属于应力传感器制备技术领域。本发明设计的微流道应力传感器，在常规应力传感器的微流道下方增加一层为内凹六边形的柔性超结构网格层，使得传感器在受轴向拉伸时可以实现器件阻变趋势反转，统一了器件在全方向上的阻变趋势，并且提高了器件的应变系数。并且通过对内凹六边形网格的单元结构参数设计以及单元分布设计，调控负泊松比特性对微流道应力传感器的影响程度，从而使得器件可以实现对于沿管直径拉伸方向完全不敏感，即实现了轴向和横向方向的应力解耦，这对于器件只测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113074846 B
(45)授权公告日 2022.07.29
(21)申请号 202110267898.9 B81B 7/04 (2006.01)
(22)申请日 2021.03.
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