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一种大功率射频电源系统.pdfVIP

一种大功率射频电源系统.pdf

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    本发明提出了一种大功率射频电源系统。所述大功率射频电源系统包括射频信号发生模块和射频功能模块，所述射频信号发生模块和射频功能模块之间进行电连接。所述射频信号发生模块包括数字控制模块、转换模块、第一V/I检测模块和射频信号处理模块；所述射频功能模块包括功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块。所述大功率射频电源系统还包括控制面板模块、状态显示模块、匹配通讯模块、接口扩展模块、温度检测模块、散热模块和电源模块。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113064368 B (45)授权公告日 2022.03.08 (21)申请号 202110292832.5 H03F 3/189 (2006.01)

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