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一种清洗机台.pdfVIP

一种清洗机台.pdf

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    本发明实施例公开了一种清洗机台，其特征在于，包括：槽式清洗部，单片清洗部以及转移部；所述槽式清洗部包括至少一个槽式清洗单元，所述槽式清洗单元一次可以清洗一片或者多片晶片；所述单片清洗部包括至少一个单片清洗单元，所述单片清洗单元一次仅可以清洗一片晶片；所述转移部用于在所述槽式清洗部和所述单片清洗部之间转移晶片。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113097099 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110250285.4 (22)申请日 2021.03.08 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司

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