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本发明涉及金刚石技术领域，且公开了一种MPCVD金刚石高效合成工艺及其装置，包括基座、施压机构、输送机构、侧压机构和支撑机构，基座的顶面开设有合成槽，基座在合成槽下方的内部开设有冷却槽，合成槽和冷却槽内设置有输送机构，输送机构包括两个螺旋杆，冷却槽内设置有两个插筒，插筒内壁固定连接有插杆，两个螺旋杆上端外壁通过扭簧连接有输送环，输送环顶面固定连接有夹环，夹环套入有连接带，两个连接带远离螺旋杆的一端固定连接一个夹环，通过输送机构的设置，使容器能够在合成槽外部进行放置和取出，得合成工艺中的容器放置和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113058506 B
(45)授权公告日 2022.05.20
(21)申请号 202110307373.3 审查员 张潇
(22)申请日 2021.03.23
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