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2023-06-13 发布于四川
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一种晶圆清洗装置及清洗方法.pdf

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本发明提供了晶圆清洗装置及清洗方法，包括：清洗干燥腔；晶圆夹持组件，用于竖直固定所述晶圆并驱动所述晶圆旋转；摆臂，具有一自由端，所述自由端可在所述清洗干燥腔内的竖直面内摆动；至少两个第一喷嘴及至少一个第二喷嘴，所述第一喷嘴及所述第二喷嘴均设置于所述自由端上可且喷射角度可调整，其中，所述第一喷嘴用于向所述晶圆喷射干燥气体，所述第二喷嘴用于向所述晶圆的中心垂直喷射清洗液。利用第二喷嘴向竖直设置的晶圆的中心垂直喷射清洗液，并通过晶圆的旋转对晶圆表面形成浸润及冲洗，再利用第一喷嘴向晶圆喷射干燥气体以清洗

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113097121 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110340976.3 (22)申请日 2021.03.30 (71)申请人上海华力微电子有限公司

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