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一种夹持环及其内部螺孔的加工方法和用途.pdfVIP

一种夹持环及其内部螺孔的加工方法和用途.pdf

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    本发明提供一种夹持环及其内部螺孔的加工方法和用途，所述夹持环包括环形底盘和环绕环形底盘外围的外圆周体，环形底盘中部设置有内圆周体，内圆周体设置有均匀分布的固定面，固定面上设置有呈三角形设置的螺孔，所述夹持环应用于半导体的物理气相沉积镀膜生产过程，能够防止晶圆在溅射过程中产生移动，所述夹持环通过粗铣出固定面，依次经第一加工、第二加工和第三加工的加工方法制备出夹持环内部的螺孔，所述加工方法操作简单，能够满足夹持环复杂的结构要求，稳定生产出满足使用要求的夹持环。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113061864 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110276203.3 B25B 11/00 (2006.01)

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