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本发明公开了一种基于单一加速因子的微机电器件寿命预测方法，该方法为了实现在单一加速因子下对MEMS器件的寿命进行准确预测，在加速寿命试验时需考虑温度应力和循环应力对MEMS器件寿命的影响。加速寿命试验是在非正常应力水平的加速环境下，通过短时间内对产品施加高于正常水平的应力(如温度应力、循环应力等)，根据替代性试验得到的试验数据能够预测MEMS器件使用寿命，推导出在温度应力和循环应力环境下加速寿命试验数学模型的相关参数，以及在温度应力和循环应力环境下MEMS器件的寿命。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113074930 A
(43)申请公布日 2021.07.06
(21)申请号 202110412612.1
(22)申请日 2021.04.16
(71)申请人 西安
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