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本发明公开了全自动组合式多频超声真空清洗烘干装置及其使用方法。复杂盲孔和微小管道难以清洗。本发明的工作槽内壁开设环形槽,环形槽内设有密封圈;载物台顶面固定有多个加热件,每个加热件上均固定有低频振动件和夹具;载物台由直线运动机构驱动上下运动;工作槽外部固定有三组超声换能器。本发明实现加热和真空环境下的多频率组合清洗,低频振动可以使内部管道的液体定向移动,高频超声空化效应使超声清洗液产生空泡,空泡破裂有效帮助清理,另外超声空化产生的空泡在负压真空条件下,从细小缝隙内部不断膨胀,将污物以及微小管道内的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113058931 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110312830.8 B08B 13/00 (2006.01)
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