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本发明涉及湿度探测领域,具体提供了一种本发明提供了一种高灵敏湿度探测器,钉扎层置于反铁磁层上,势垒层置于钉扎层上,自由层置于势垒层上,势垒层隔开钉扎层和自由层,自由层中设有贯穿的孔洞,吸湿膨胀材料部置于孔洞底部的势垒层上。本发明中,钉扎层、势垒层、自由层构成磁隧道结。应用时,将本发明置于待测湿度环境中;同时,应用固定磁场作用于本发明。通过测量在待测湿度环境中和未在待测湿度环境中,磁隧道结磁电阻的差异,确定待测环境的湿度。本发明有湿度探测灵敏度高的优点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113063841 B
(45)授权公告日 2022.05.17
(21)申请号 202110175364.3 (56)对比文件
(22)申请日 2021.02.09
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