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一种高电感值、高Q值和高谐振频率的薄膜电感器,属于薄膜电感器制备技术领域。该薄膜电感器包括衬底基片,形成于衬底基片之上的磁性薄膜,形成于磁性薄膜之上的电感线圈;其中,所述衬底基片包括依次设置的硅基片、聚酰亚胺层和氮化硅层,聚酰亚胺层的厚度为30μm~70μm。本发明薄膜电感器通过在基底上形成聚酰亚胺层,有效降低了电感的衬底损耗和寄生电容,使薄膜电感器具有高的Q值和谐振频率;采用旋转喷涂法低温沉积磁性薄膜,避免聚酰亚胺层的高温分解开裂;通过对电感线圈的匝数、导线宽度、导线间距和导线厚度进行优化,最
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113077981 B
(45)授权公告日 2023.04.14
(21)申请号 202110238832.7 H01F 27/24 (2006.01)
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