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本发明提出了一种多功能缓蚀剂试验装置及其试验方法,该试验装置包括:恒温箱主体,其内能容置多个试验容器;总管线,其连接在恒温箱主体上,其上设置有连接气源和水源的接口;阀门和分管线,其连接在主管线和各个试验容器之间,实现对各个试验容器的连接与控制。该试验装置能减轻重复操作的过程,提高工作效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113075355 A
(43)申请公布日
2021.07.06
(21)申请号 20201
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