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2023-06-13 发布于四川
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一种基于深紫外线光斑照明的倾斜物体成像系统.pdf

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本发明涉及光学成像技术领域，尤其涉及一种基于深紫外线光斑照明的倾斜物体成像系统，采用深紫外线光斑照明光学系统，其光源采用深紫外波段的激光器，激光器的波长选择范围是190～280nm，激光器生成照明光路的光轴，激光器出射的激光通过激光传输光学元件入射到线光斑发生器上，线光斑发生器将入射的激光转换成一条线斑生成在待检测物体的表面上，经过大量的模拟仿真计算，线光斑发生器的出射光轴与待测物体表面法线的角度选择范围是45°到80°。本发明达到了提高物体表面散射光检测技术灵敏度和速度的目的，采用了独特的光学

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113092483 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110359007.2 (22)申请日 2021.04.02 (71)申请人常州雷射激光设备有限公司

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