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本发明涉及振动探测领域，具体提供了一种基于应力变化的微振动探测器，反铁磁层的材料为硬磁反铁磁材料，钉扎层置于反铁磁层上，钉扎层的材料为自旋性极化率高的金属或半金属，势垒层置于钉扎层上，自由层置于势垒层上，自由层的材料为磁各向异性弱的软磁材料，自由层内设有周期性排布的孔洞，弹性部置于孔洞内，弹性部凸出孔洞。在本发明中，钉扎层、势垒层、自由层形成磁隧道结。应用时，将本发明固定在待测物体上；同时应用磁场作用于本发明。通过测量振动时和静止时，磁隧道结的磁电阻的差异，确定待测物体的振动强度。本发明具有探测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113063487 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110223180.X
(22)申请日 2021.03.01
(71)申请人 于孟今
地址 252
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