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2023-06-13 发布于四川
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光路调节方法、检测设备和存储介质.pdf

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本申请实施方式的光路调节方法用于检测设备，检测设备包括泵浦光路及检测光路，泵浦光束沿泵浦光路传输至工件，检测光束沿检测光路传输至工件，光路调节方法包括：设置检测反射镜的反射面于工件所在位置，且使检测反射镜垂直于检测光束和泵浦光束所在的入射面；及调节泵浦光束的传播方向，和/或调节检测光束的传播方向，使泵浦光路中泵浦光束与经检测反射镜反射后的检测光束重合，及检测光路中检测光束与经检测反射镜反射后的泵浦光束重合。光路调节方法和检测设备能够实现检测光束和泵浦光束相互配合，以入射至工件的同一位置从而对工件

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113075127 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110350348.3 (22)申请日 2021.03.31 (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

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