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2023-06-14 发布于四川
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本发明涉及一种泵送单元，其包括：‑粗真空泵；‑罗茨真空泵(3)，该罗茨真空泵包括泵送级(7)，该泵送级具有定子(9)，在该定子内，两个罗茨转子(5)被配置成以相反方向同步旋转，以在入口孔(10)和出口孔(11)之间驱动待泵送的气体；‑管线(13)，该管线将所述出口孔(11)连接至所述粗真空泵(2)的入口(12)，其特征在于，所述出口孔(11)的边缘和所述泵送级(7)中的每个转子(5)之间的最短距离(d)至少小于3厘米。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167277 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980077269.0 (74)专利代理机构北京市中咨律师事务所