机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置.pdf

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本发明公开了一种机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运设备，其中，末端执行机构包括支座、手指组件、第一丝杆以及驱动组件，手指组件包括并列设置的第一手指和第二手指，第一手指与第二手指均滑动连接于支座，第一手指与第二手指均用于晶圆的承载；第一丝杆转动连接支座，第一丝杆包括第一段和第二段，第一段与第二段均设置有螺纹，两个螺纹的螺旋方向相反，其中，第一手指螺纹连接于第一段，第二手指螺纹连接于第二段；驱动组件与第一丝杆相连接，用于驱动第一丝杆转动。通过采用上述方案，即保证了晶圆的输送效率，又保证了末端执行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113119144 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202110419511.7 (22)申请日 2021.04.19 (71)申请人深圳众为兴技术股份有限公司

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