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本发明提供一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置,包括主体,所述主体的左右内壁上均设置安装有固定基座,所述固定基座之间设置安装有固定部件,所述固定部件的中心处设置安装有放置平台,所述主体的内壁上设置安装有驱动装置,所述驱动装置的左侧设置安装有驱动螺纹杆,所述固定部件的上侧设置安装有外齿条。该用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置,通过外部驱动促使驱动机构产生动能,进而利用抛光机构对半导体材料进行抛光处理,同时基于在压力的作用下,使的抛光头内部的内腔中的非牛顿流体变硬,进而使非牛顿流体适应该半导体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113118954 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110446623.1 B24B 47/22 (2006.01)
(22)申请日 2
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