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一种用于照明场的照明的投射光刻的光学照明系统,其中可以布置下游光学成像系统的物场。光学照明系统的光瞳分面反射镜具有多个光瞳分面(11)。每个光瞳分面(11)被设计为引导照明光的部分束(24i)。对于被设计为选择性反射的光瞳分面的至少一些光瞳分面(11),以下适用:选择性反射的光瞳分面(11)具有用于照明光的反射涂层(27)。在选择性反射的光瞳分面(11)的第一部分上的第一涂层区域(271)具有第一反射率。在选择性反射的光瞳分面(11)的第二部分上的第二涂层区(272)具有第二反射率。第一涂层区域
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113168114 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980078420.2 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
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