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各种实施方案包含当衬底处于处理工具上的衬底处理位置时对衬底销升降器提供原位非侵入性验证的设备。所公开的主题还可验证从处理工具移除衬底时的非预期衬底移动。在一示例性的实施方案中，销升降器测试衬底包含多个运动感测器以及至少一个力传感器。该多个运动传感器包含至少一种类型的传感器，该至少一种类型的传感器选自包含测斜仪和加速度计的多个传感器类型。销升降器测试衬底上的存储器装置记录从运动传感器所接收的数据。替代存储器装置或除了存储器装置外，无线通信装置还将从该多个运动传感器所接收的数据传送至远程接收器。公开
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113169090 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201880099979.9 (51)Int.Cl.
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