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本发明属于石英基片清洗技术领域,尤其是涉及一种MEMS技术用石英基片的清洗装置,包括超声波清洗机、清洗槽体和清洗水箱,超声波清洗机的上端固定连接有竖直的龙门支架,龙门支架的侧壁上固定连接有两个竖直的电动滑轨,且两个电动滑轨的外侧滑动连接有同一块电动滑块,电动滑块的侧壁上固定连接有两个L形支杆,清洗槽体对应连接在两个L形支杆的下端,清洗槽体的下端为开口式结构,且清洗槽体内底壁上转动连接有水平的承载板。本发明能够避免清洗过程中多块石英基片出现粘接的情况,助于石英基片的稳定清洗,并且可以对清洗架内的石
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113118127 B
(45)授权公告日 2022.03.08
(21)申请号 202110406227.6 B08B 13/00 (2006.01)
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