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本发明公开了一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置,晶圆支撑装置包括支撑组件,所述支撑组件移动以水平支撑晶圆;至少一支撑组件可相对于其移动方向摆动以调节支撑组件的位置。本发明所述晶圆支撑装置使得支撑辊与晶圆的外缘均匀接触,保证晶圆的可靠支撑,设置在晶圆侧部的清洗刷有效去除晶圆表面的杂物,实现晶圆表面的清洗。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130371 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 201911407703.5
(22)申请日 2019.12.31
(71)申请人 清华大学
地址 10
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