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一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置.pdfVIP

一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置.pdf

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    本发明公开了一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置，晶圆支撑装置包括支撑组件，所述支撑组件移动以水平支撑晶圆；至少一支撑组件可相对于其移动方向摆动以调节支撑组件的位置。本发明所述晶圆支撑装置使得支撑辊与晶圆的外缘均匀接触，保证晶圆的可靠支撑，设置在晶圆侧部的清洗刷有效去除晶圆表面的杂物，实现晶圆表面的清洗。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113130371 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 201911407703.5 (22)申请日 2019.12.31 (71)申请人 清华大学 地址 10

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