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二次谐波产生(SHG)可用于询问样品(例如层状半导体结构)的表面。基于SHG的样品询问系统可一次同时收集SHG信号的不同偏振分量，以提供不同类型的信息。SHG成像系统可提供更大样品区域上的SHG图像或SHG信号分布图。一些这样的SHG成像系统采用多个光束和多个检测器来捕获样品区域上的SHG信号。一些SHG成像系统采用成像光学器件将样品成像到检测器阵列上，以形成SHG图像。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113167741 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980047563.7 (74)专利代理机构 北京三高永信知识产权代理
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