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等离子体处理装置和等离子体处理方法.pdfVIP

等离子体处理装置和等离子体处理方法.pdf

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    例示的实施方式的等离子体处理装置包括处理容器、工作台、上部电极、导入部和波导部。工作台设置于处理容器内。上部电极隔着处理容器内的空间设置于工作台的上方。导入部是高频的导入部。高频是VHF波或者UHF波。导入部设置于空间的横向端部，绕着处理容器的中心轴线在周向上延伸。波导部构成为能够对导入部供给高频。波导部包含提供波导路径的谐振器。谐振器的波导路径绕着中心轴线在周向上延长且在中心轴线延伸的方向上延长而与导入部连接。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113170568 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980079184.6 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限

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