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2023-06-14 发布于四川
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一种掺杂ZnS靶材的制备方法.pdf

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本发明公开了一种掺杂ZnS靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将银粉和硫化锌粉体混合，球磨，过筛；(2)将步骤(1)所得粉体装入模具中，放入真空热压炉里；(3)预压；(4)成型：抽真空至真空度＜10Pa，升温到700～1050℃，保温20～60min，同时进行加压，加压压力为90～150MPa，加压时间为60～120min，冷却，即得所述ZnS靶材。本发明通过在硫化锌中掺杂Ag元素的方法，提高HP‑ZnS靶材的导电性能；采用本发明所述方法制得的掺杂的ZnS靶材，其电阻率

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113136552 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110273556.8 (22)申请日 2021.03.12 (71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司

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