- 1、本文档共14页,其中可免费阅读13页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种半导体器件及其制备方法,半导体器件的制备方法包括:提供第一介质层;于第一介质层内形成窗口;于窗口的内表面和第一介质层的上表面形成第二介质层;去除边角处的第二介质层;于窗口的内表面及保留的第二介质层表面形成第一阻挡层;于窗口内形成导电结构。上述半导体器件的制备方法中去除边角处的第二介质层,使得形成的第一阻挡层厚度均匀,不容易出现缺陷,能够更好的避免导电结构的材料扩散到第一介质层中,于窗口的内表面和第一介质层的上表面形成第二介质层,能更好的避免导电结构出现漏电,提高器件的质量,提高产品
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113130382 B
(45)授权公告日 2022.03.08
(21)申请号 202010046681.0 (56)对比文件
(22)申请日 2020.01.16
您可能关注的文档
- 一种便于取放餐具的洗碗机.pdf
- 一种简易的洗碗机.pdf
- 一种操作便携的洗碗机.pdf
- 一种低成本的洗碗机.pdf
- 用于尾管钻井的尾管钻进组件.pdf
- 一种新型婴儿车减震系统.pdf
- 烹饪器具的保温控制方法.pdf
- 一种用于测试绝热剪切后钛合金动态拉伸性能的试样.pdf
- 聊天信息处理方法及装置.pdf
- 一种用于恶性肿瘤介入治疗的抗肿瘤血管药物缓释栓塞微球.pdf
- 2023-2024学年广东省深圳市龙岗区高二(上)期末物理试卷(含答案).pdf
- 2023-2024学年贵州省贵阳市普通中学高一(下)期末物理试卷(含答案).pdf
- 21.《大自然的声音》课件(共45张PPT).pptx
- 2023年江西省吉安市吉安县小升初数学试卷(含答案).pdf
- 2024-2025学年广东省清远市九校联考高一(上)期中物理试卷(含答案).pdf
- 广东省珠海市六校联考2024-2025学年高二上学期11月期中考试语文试题.pdf
- 2024-2025学年语文六年级上册第4单元-单元素养测试(含答案).pdf
- 2024-2025学年重庆八中高三(上)月考物理试卷(10月份)(含答案).pdf
- 安徽省安庆市潜山市北片学校联考2024-2025学年七年级上学期期中生物学试题(含答案).pdf
- 贵州省部分校2024-2025学年九年级上学期期中联考数学试题(含答案).pdf
文档评论(0)