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一种可大行程测距的压电粘滑式驱动装置与测距方法.pdfVIP

一种可大行程测距的压电粘滑式驱动装置与测距方法.pdf

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    本发明涉及一种可大行程测距的压电粘滑式驱动装置与测距方法，该驱动装置由导轨滑块、驱动单元、预紧力加载机构、固定基座四个部分组成。给驱动装置中的压电叠堆输入周期性锯齿形驱动电压可实现滑块的连续运动，调节驱动电压的幅值和频率可改变驱动装置的步进位移和速度。该驱动装置的创新之处在于可通过测量应变片应变换算出滑块的运动位移，理论上可用于无限行程的位移测量。本发明具有结构简单、操作方便等特点，在精密加工、精密测量、微纳操作等需要高定位精度和大行程位移输出的领域具有良好的应用前景。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113114067 B (45)授权公告日 2022.05.10 (21)申请号 202110500795.2 (56)对比文件 (22)申请日 2021.05.08

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