静电过滤器以及使用静电过滤器控制离子束的方法.pdfVIP

静电过滤器以及使用静电过滤器控制离子束的方法.pdf

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一种设备可包括：主腔室，所述主腔室包括多个电极；入口隧道，所述入口隧道具有沿第一方向延伸至所述主腔室中的入口轴线；以及出口隧道，连接至所述主腔室且界定出口轴线，其中所述入口轴线及所述出口轴线在所述入口轴线与所述出口轴线之间界定为至少30度的束弯曲。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113169009 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980076390.1 (74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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