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一种在功率器件中排布金属层的方法.pdfVIP

一种在功率器件中排布金属层的方法.pdf

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    本发明提出了一种功率场效应器件及其金属层的排布方法，所述功率场效应器件包括：第一介电层及镶嵌于第一介电层的第一金属层；第二介电层及镶嵌于第二介电层的第二金属层；其中，所述第一金属层和第二金属层直接接触，中间没有通孔层。本发明将第一金属层和第二金属层直接接触，并通过各金属层的排布避免电极间的短接，从而移除了传统工艺中连接相邻金属层的通孔层，有效地节省了一道掩膜工序，降低了功率场效应管的制造成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113140622 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110321772.5 (22)申请日 2021.03.25 (30)优先权数据 16/910,96

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