卤素氟化物的除去方法和卤素氟化物混合气体中含气体成分的定量分析方法、定量分析装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.48万字
约 12页
2023-06-14 发布于四川
举报
版权申诉

卤素氟化物的除去方法和卤素氟化物混合气体中含气体成分的定量分析方法、定量分析装置.pdf

1、本文档共12页，其中可免费阅读11页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

提供一种混合气体中所含的包含溴或碘的卤素氟化物的有效除去方法。另外，本发明提供一种能够有效且高精度地对卤素氟化物中的氧、氮、二氧化碳、四氟甲烷等杂质成分进行定量的定量分析方法。一种使含有卤素氟化物的混合气体与除去剂反应而除去所述混合气体中的卤素氟化物的方法，所述卤素氟化物包含溴或碘，所述除去剂是钾、钠、镁、钙和钡的氯化物、溴化物或碘化物。一种卤素氟化物混合气体中的含气体成分的定量分析方法，其特征在于，使含有卤素氟化物及其他气体成分的混合气体与除去剂反应，除去所述混合气体中的卤素氟化物，再除去生成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113164862 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980081437.3 (74)专利代理机构北京市中咨律师事务所