金属膜、以及溅射靶.pdfVIP

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本发明中，Pd的含量为40质量ppm以下、Pt的含量为20质量ppm以下、Au的含量为20质量ppm以下、Rh的含量为10质量ppm以下、且Pd、Pt、Au及Rh的总含量为50质量ppm以下，剩余部分由Ag与不可避免杂质构成。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113166923 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980077191.2 (74)专利代理机构北京德琦知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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