一种单晶炉辅助磁场控制系统及方法.pdfVIP

一种单晶炉辅助磁场控制系统及方法.pdf

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本申请涉及一种单晶炉辅助磁场控制系统，属于单晶制造的领域，其包括炉筒，所述炉筒的两侧设有磁头，且两个磁头相对设置，所述磁头下方设有驱动机构，所述驱动机构包括用于驱动两个磁头相向运动的第一驱动组件，以及用于驱动磁头上下移动的第二驱动组件。本申请具有提高磁场的效果，从而提高所生产的单晶的品质的效果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113122926 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202110419979.6 (22)申请日 2021.04.19 (71)申请人上海磐盟电子材料有限公司

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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