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本发明的在制品数量的预测方法包括：获取半导体工艺路线中的多个在制品数量数据以及对应的多个芯片产量数据；以多个在制品数量数据和多个芯片产量数据为数据集，清洗数据集，使得数据集符合半导体工艺路线的预设要求；获取半导体工艺路线中的多个输入特征组以及相对应的多个输出特征组；以多个输入特征组以及多个输出特征组为样本集，利用第一预设算法提取训练样本集，从而构建预测模型；根据多个输入特征组中的一部分数据的平均值，并基于预测模型计算在制品数量数据。本发明相较于现有技术，通过清洗数据集可以去除数据集中异常率较高的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113139702 A
(43)申请公布日 2021.07.20
(21)申请号 202110591292.0
(22)申请日 2021.05.28
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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