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2023-06-14 发布于四川
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一种纳米TiB2涂层的制备方法.pdf

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本发明涉及一种陶瓷涂层制备方法，具体涉及一种纳米TiB2涂层的制备方法。本发明的目的是解决现有TiB2涂层制备方法存在采用化学气相沉积法时，BCl3对设备及管路的腐蚀性极强，导致成本高、难度大，而采用渗Ti和B的包埋法时，涂层结构致密度差，表面粗糙度大，涂层易残留杂质元素，降低了涂层高温性能的技术问题。通过化学沉积法在样件表面沉积TiC涂层；将沉积有TiC涂层的样件和BN粉料均加入石墨坩埚中，使BN粉料将沉积有TiC涂层的样件完全覆盖；在Ar气氛或Ar和O2的混合气氛或Ar、O2和H2的混合气氛

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113120915 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202110442214.4 (22)申请日 2021.04.23 (71)申请人西北核技术研究所

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