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一种反射式光罩坯体及其制造方法,反射式光罩坯体包括基板、设置在基板上的多层反射层、设置在多层反射层上的覆盖层,及设置在覆盖层上的吸收层。吸收层具有比覆盖层小的长度或宽度尺寸,且覆盖层的部分被吸收层暴露。吸收层及硬遮罩层的尺寸的范围在146cm至148cm之间。基板、多层反射层及覆盖层的尺寸的范围在150cm至152cm之间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113126423 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202011588186.9
(22)申请日 2020.12.29
(30)优先权数据
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