有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共13页，其中可免费阅读12页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种射频阵列薄膜器件及其制备、键合和集成方法，射频阵列薄膜器件包括自下而上依次设置的外延结构、电极层、栅介质层和支撑层；所述电极层为图形化电极层，在所述栅介质层上对应所述电极层上各电极的位置开设有通孔，各通孔内填充为电极材料，各电极从对应通孔中凸出所述栅介质层，所述支撑层覆盖所述栅介质层和各所述电极；所述外延结构包括自下而上依次设置的未掺杂GaN成核层、重掺杂GaN牺牲层和目标层，所述目标层为AlGaN/AlN/GaN异质结。本发明实现整体剥离，有效的解决了刚性衬底热导率低且应用受限等
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130662 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110424077.1
(22)申请日 2021.04.20
(71)申请人 华南师范大学
地址
文档评论（0）