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一种用于提升基板的方法包括:通过使用提升销将所述基板升高离开其上放置所述基板的支撑板,其中所述提升销在降低位置与升高位置之间竖直地移动时将所述基板升高离开所述支撑板,所述降低位置从所述支撑板向下间隔开第一距离,所述升高位置从所述支撑板向上间隔开第二距离,并且在所述提升销减速或以恒定速度移动时使所述提升销与所述基板接触。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130374 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202011609933.2
(22)申请日 2020.12.30
(30)优先权数据
10-2019-0
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