有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
公开一种减排装置和方法。所述减排装置用于处理来自半导体加工工具的流出物流，并且包括：第一减排设备，所述第一减排设备被构造成接收所述流出物流并且可操作成按活动模式运行以处理所述流出物流；第二减排设备，所述第二减排设备可操作成按空闲模式运行；以及控制逻辑，所述控制逻辑可操作成在接收到与所述第一减排设备相关联的警报状况的指示时按所述活动模式运行所述第二减排设备。以此方式，提供处理所述流出物流的第一或主要减排设备，并且在所述第一减排设备发生故障的情况下提供第二或备用减排设备。然而，通过仅在所述第一减排设
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113167470 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980082585.7 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
文档评论（0）