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一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法.pdfVIP

一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法.pdf

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    一种非晶态氧化铁薄膜的制备方法，包括基底预处理、前驱液配制和薄膜沉积，是将醋酸铁溶解在以醇类有机溶剂和胺类有机溶剂形成的混合有机溶剂中，在5~10℃温度下以700~800rpm搅拌3~5h，然后保持温度不变，将搅拌速率降至400~500rpm持续搅拌2~7h后静置陈化2~6h得前驱液；再将前驱液涂覆在预处理后的基底上，然后将涂覆后的基底置于140~150℃下热处理25~40min。本发明制备出的非晶态氧化铁薄膜，薄膜具有较高的无序性，薄膜的均匀性好，致密性优异，粗糙度低至2.2nm，具有优异的透

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113135600 B (45)授权公告日 2022.05.13 (21)申请号 202110233101.3 JP A,1992.12.10 (

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