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过滤储液装置.pdfVIP

过滤储液装置.pdf

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    本发明提供了一种过滤储液装置，包括：槽体，其用于容纳化学液；溢流栏，其用于将槽体分隔为第一分槽和第二分槽；溢流栏的高度低于槽体的高度；第一分槽中的化学液通过溢流栏的顶部溢流至第二分槽；回液管路，其连接第一分槽，用于回收化学液并将化学液输送至第一分槽；供液管路，其连接第二分槽，用于从第二分槽向用液设备供给化学液。本发明通过引入由溢流栏分隔的槽体，当化学液从溢流栏的顶部溢流时，颗粒污染物因重力作用自发下沉而被去除，从而得到洁净的化学液。本发明的过滤储液装置能够有效去除循环化学液中的颗粒污染物，其实施

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113117388 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191

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