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一种单颗金刚石磨粒超声振动刻划硅片的实验装置及方法。装置包括测力仪、斜面平台、金刚石尖状刀具、条状刀盘、键、第二螺钉、第一螺钉、第三螺钉、刀柄、动平衡刀具、超声振子夹具、超声振子、弧形压板、直线滑轨、滑块和连接板；本发明可灵活地调整刻划条纹的间距和深度，一次实验可以完整地得到深度阶梯变化的划痕，从而快速、准确地获取各种刻划深度分级的数据。在同样刻划条件下实现深度分级，避免了实验过程中的不稳定因素，节省了实验次数。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113109199 B
(45)授权公告日 2022.07.08
(21)申请号 202110405631.1 (56)对比文件
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