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本公开的实施例涉及具有应力结构的MEMS薄膜。盲孔被形成在半导体基底的底表面中，以限定从基底框架悬置的薄膜。该薄膜具有顶侧表面和底侧表面。应力结构被安装到薄膜的顶侧表面或底侧表面中的一个表面。应力结构引起薄膜弯曲，该弯曲限定薄膜的正常状态。压电电阻器由薄膜支撑。响应于施加的压力，薄膜被弯曲远离正常状态，并且压电电阻器的电阻变化是施加的压力的指示。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113125056 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110046972.4 B81B 7/02 (2006.01)
(22)申请日 20
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