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各种实施例可以提供一种照射样品平面的方法。该方法可以包括设置照明子系统，该照明子系统包括光源和至少一个透镜，该照明子系统具有与样品平面的法线成大于0°且小于90°的入射角的光轴。该方法还可以包括使照明子系统围绕沿着光轴、在光源与样品平面之间的枢轴点旋转，使得由照明子系统在样品平面处产生的经调整的照明分布与由照明子系统在没有围绕枢轴点旋转的情况下在样品平面处产生的参照照明分布相比具有更高的对称性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113167462 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980005960.8 (51)Int.Cl.
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