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本公开提供有利地稳定光束参数和延长晶体寿命的方法和设备。在一方面，UV激光设备(100)包括非线性晶体(104)、激光源(102)、光束晶体置换器(106)、光束参数监控器(108)和激光控制单元(110)。激光源(102)将源光束(1021)引导至非线性晶体(104)以产生紫外光束，并且光束晶体置换器(106)以多种移动速度相对于源光束(1021)移动非线性晶体(104)。光束参数监控器(108)测量紫外光束并输出光束参数的测量值。激光控制单元(110)：接收测量值；基于测量值确定移动速度的调
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113169500 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980020855.1 (74)专利代理机构 余姚德盛专利代理事务所
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