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本发明公开了一种高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其中，残气回收步骤依序包括有：钢瓶外观检查、残气重量检测、残气回收配管作业、气密测试、填充安定气体、残气回收、真空处理、填封钢瓶、管路后处理及钢瓶移至待充填区，二氯硅烷填充步骤依序包括有：钢瓶外观检查、钢瓶重量确认、填充配管作业、气密测试、真空处理、确认环境温度、管路冷却水循环、二氯硅烷填充、管路后处理、钢瓶移至成品区及成品泄漏测试，通过上述步骤形成多重安全防护，借此在有效阻隔外部气体的条件下，达到安全回收二氯硅烷残气与安全填充二氯
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113137565 A
(43)申请公布日
2021.07.20
(21)申请号 20201
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