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一种制备压电陶瓷薄膜的方法.pdfVIP

一种制备压电陶瓷薄膜的方法.pdf

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    本申请实施例公开了一种制备压电陶瓷薄膜的方法，能够直接在玻璃基板上制备PZT薄膜，省去了从硅基板向玻璃基板转移的操作，从而简化制备过程，并可以采用大面积玻璃基板进行制备，提高生产效率。本申请实施例方法包括：在温度低于玻璃软化点的条件下，采用溅射法在玻璃基板上制备种子层；在温度低于玻璃软化点的条件下，在所述种子层上制备锆钛酸铅压电陶瓷PZT薄膜层。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113122801 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191

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